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物理光学专用平面平晶
来源:云仪仪表 发布时间: 2016-11-30 9:03:15 浏览次数:200

                                  平面平晶

    

    平面平晶具有两个(或一个)光学测量平面的正圆柱形或长方形的量规。光学测量平面是表面粗糙度数值和平面度误差都极小的玻璃平面,它能够产生光波干涉条纹(见激光测长技术)。平晶有平面平晶和平行平晶两种。平面平晶用于测量高光洁表面的平面度误差,为用平面平晶检验量块测量面的平面度误差。平行平晶的两个光学测量平面是相互平行的,用于测量两高光洁表面的平行度误差,例如千分尺两测量面的平行度误差.平晶用光学玻璃或石英玻璃制造。圆柱形平面平晶的直径通常为45150毫米。其光学测量平面的平面度误差为:1级精度的为0.030.05微米;2级精度的为0.1微米。常见的长方形平面平晶的有效长度一般为200毫米。

     《国家标准》

  JJG28-2000 成都威博恩快速检验标准

 

  平行平晶是用于以干涉法测量块规,以及检验块规、量规、零件密封面、测量仪器及测平晶

  量工具量面的研合性和平面度的 常用工具。

  适用于光学加工厂、厂矿企业计量室、精密加工车间、阀门密封面现场检测使用,也适用于高等院校、科学研究等单位做平面度等检测。

  1、平面平晶YDF-1 标准外形尺寸 单位:mm

 

  规格30 45 60 80 100 150 200 250

 

  直径30 45 60 80 100 150 200 250

 

  高度15 15 20 20 25 30 40 45 平晶

 

  特殊规格尺寸平面平晶,环形平面平晶,方形平面平晶可定做.

 

  2、平面平晶制成两种精度:1级 和2

 

  3、平面平晶工作面的平面度偏差允许值为:

 

  直径为 3060mm 1级平晶0.03μm

 

  直径为3060mm 2级平晶0.1 μm

 

  直径为80150mm 1级平晶0.05μm

 

  直径为80150mm 2级平晶0.1 μm

 

  更大尺寸平面平晶平面度偏差允许值,根据国家标准。

 

  4、平面平晶工作面的局部偏差允许值为:0.03μm

 

  5、平面平晶测量工作应在室温2 0℃±3℃条件下保持数小时后进行。

 

  平晶是利用光波干涉现象测量平面度误差的,故其测量方法称为平晶干涉法(图2,也称技术光波干涉法。测量时,把平晶放在被测表面上,且与被测表面形成一个很小的楔角θ,以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面,且平晶与被测表面间的间隙很小,则由平晶测量面P反射的光线与被测表面反射的光线在测量面P发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下,则出现彩色干涉条纹。如干涉条纹平直,相互平行,且分布均匀,则表示被测表面的平面度很好;如干涉条纹弯曲,则表示平面度不好。其误差值为f= (v/ω)×(λ/2)

 

  λ为光波波长,白光的平均波长为0.58μm,ν为干涉带弯曲量,ω为干涉带间距。


标签: 光学 平面

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